VGF法磷化铟单晶炉
InP 气相合成多晶原料设备
摇摆合成多晶原料设备
卧式常压多晶合成炉，适配GaAs、CdTe等多种化合物材料的多晶合成
GaAs 单晶制备专用设备，VGF/VB 工艺
碲锌镉单晶生长炉
SiC 单晶生长核心装备，支持 6 英寸/8 英寸晶锭制备
Ga₂O 垂直梯度凝固法单晶生长设备
适用于8英寸晶圆退火
精密退火工艺热处理设备
化合物半导体晶圆氧化炉分为立式和卧式高温炉管设备
晶圆清洗后快速干燥设备
晶圆真空烘烤除湿设备
半导体封装焊接专用设备
高温烧氧工艺专用设备
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