主要技术特点
- 高温电阻加热/硅钼棒加热，最高工作温度 1250℃，满足石英件高温处理要求
- 多区独立控温，恒温区长度≥600mm，温度均匀性≤±5℃
- 密封炉腔设计，可通入高纯氧气、空气、氮气、氯气等处理气氛
- 配备气体流量精确控制与尾气处理系统，氯气等腐蚀性气氛机型有特殊防腐设计
- 石英件处理后表面金属杂质含量可降低 1-2 个数量级
- 可有效消除石英件冷加工产生的内应力，减少高温使用时开裂风险
- 可编程多段温度曲线，自动完成升温、保温、降温全过程
- 炉膛采用高纯氧化铝多晶纤维材料，保温效果好，升温速度快，节能显著
- 炉门密封与锁紧机构可靠，配备超温、断水、过流等多重安全保护
核心性能指标
| 参数项 | 技术指标 |
|---|---|
| 最高工作温度 | 1250℃ |
| 常用处理温度 | 800-1150℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 恒温区长度 | ≥400mm（可定制） |
| 恒温区温度均匀性 | ≤±5℃ |
| 升温速率 | 0-10℃/min，可调 |
| 处理气氛 | 氧气、空气、氮气、氯气（防腐型） |
| 炉膛尺寸 | 可根据石英件尺寸定制（φ200-φ600mm） |
| 处理后金属杂质 | Fe、Cu、Ni 等≤10ppb |
| 单次处理量 | 根据炉膛尺寸，可批量处理 |
| 处理周期 | 6-24 小时/炉，根据工艺 |
| 加热元件 | 硅钼棒/高温电阻丝 |
