主要技术特点

• 卧式多温区管状炉结构，可选择3/4 段加热区段，机械精度高；
• 炉体与温度控制性能优异，温控稳定性好，保障退火工艺一致性；
• 整机结构、电气与水冷设计可靠，便于维护；
• 水冷系统采用多散热片结构，提升热交换效率，强化冷却效果；
• 选配全自动上下料系统，洁净自动化程度高；
• 全自动上下料免人工接触晶圆，整机破片率≤0.1%。

核心性能指标

参数项	技术指标
适用晶圆尺寸	6寸、8寸
晶圆盒规格	25片标准晶圆盒
晶圆Loadport数量	1台
晶圆缓存舟数量	4个（铝合金制作）
单炉装载晶圆数	≤75片（3×25片）
上下料方式	全自动（传片机械手＋插片机械手）
破片率	≤0.1%
使用环境	千级（ISO 7）及以上洁净环境
控制方式	与设备工业微机控制系统一体联动，支持自动/手动切换