主要技术特点
- 高真空密封合成：全流程密闭真空环境，杜绝杂质污染，精确控制化学计量比，防止磷组分挥发
- 炉体整体摇摆，摆动角度与频率精确可调，强化熔体混合与反应均匀性
- 多温区精准控温：多段独立加热，PID 闭环控制，可灵活设置温场，满足合成与凝固各阶段需求
- VGF 定向凝固：稳定温度梯度实现定向凝固，减少热应力与缺陷，晶锭组织均匀
- 高压釜式炉体设计，最高压力可达 10MPa，安全系数高
- 配备防爆安全阀与多重压力安全联锁系统，保障高压运行安全
- 全自动运行：PLC 控制系统实现全流程自动化，工艺参数可追溯，具备多重安全联锁保护
核心性能指标
| 参数项 | 技术指标 |
|---|---|
| 合成方法 | 摇摆合成法 |
| 最高工作温度 | 1280℃ |
| 最高压力 | 10MPa |
| 摇摆角度 | ±30°，可调 |
| 摇摆频率 | 0-10 次/分钟，可调 |
| 单炉合成量 | 4~6kg |
| 合成周期 | 36-48 小时/炉 |
| 原料利用率 | ≥98% |
| 多晶纯度 | ≥99.9999%（6N） |
| 多晶密度 | ≥4.78g/cm³（理论密度 99.5%） |
