公司简介
广东铂星半导体装备有限公司坐落于中国深圳，是一家专注于化合物半导体高端装备研发、制造与销售的高新技术企业。公司深耕化合物半导体晶体生长与晶圆处理装备领域，拥有一支由资深半导体设备专家、热场设计工程师、自动化控制专家组成的核心研发团队，致力于为全球化合物半导体产业提供高性能、高可靠性的国产化装备解决方案。
公司产品覆盖化合物半导体从材料合成、晶体生长、晶圆处理到外延生长的全工艺流程，核心产品包括磷化铟（InP）系列单晶炉多晶合成炉、氧化镓（β-Ga₂O₃）单晶炉、砷化镓（GaAs）/碲锌（CdZnTe）单晶炉、碳化硅（SiC）长晶炉、MOCVD外延设备，以及晶圆退火炉、氧化炉、立式甩干机、真空烤炉、石英瓶封焊炉、烧氧炉、清洗设备等配套工艺装备，可满足4-8英寸化合物半导体衬底及器件制造的量产需求。
铂星半导体坚持"技术创新、品质至上、服务客户"的经营理念，所有设备均经过严格的工艺验证与可靠性测试，热场设计、温度控制精度、压力稳定性、自动化水平等核心指标达到国际先进水平，产品已广泛应用于光通信、功率半导体、射频器件、红外探测、航空航天等战略性新兴产业领域。
核心技术优势
高精度多区独立控温技术
采用6-10区独立加热与精密控温算法，温度控制精度达±0.1℃，可精确调控晶体生长界面的温度梯度，有效降低晶体热应力与位错密度。
高压气氛精确控制技术
针对磷等高蒸气压材料，自主研发高压炉体密封与压力动态平衡系统，最高工作压力可达4.0MPa，压力控制精度±0.01MPa，有效抑制组元分解挥发，保障化学计量比精确。
全流程自动化控制
搭载自主知识产权的晶体生长控制系统，集成工艺配方管理、实时数据采集、异常报警与远程诊断功能，实现从抽真空、升温、熔料、晶体生长到降温冷却的全自动运行，大幅降低人工干预，提升工艺重复性与产品良率。
模块化热场设计
采用有限元热场仿真优化的模块化保温与加热结构，热场重复性好、维护便捷，支持2-8英寸多种尺寸晶体生长，可根据客户工艺需求快速定制热场方案。
企业文化
企业使命
以精密装备推动半导体产业进步
企业愿景
成为全球领先的半导体装备解决方案提供商
创新
持续技术创新，引领行业发展
共赢
与客户、合作伙伴共创价值